催化燃烧废气处理工艺流程包括以下步骤：

　　废气的收集和预处理：将产生的废气从工业设备中收集起来，经过除尘、脱硫、脱氮等工艺进行预处理，确保废气的稳定性和安全性。

　　催化燃烧反应室：将预处理后的废气送入催化燃烧反应室，室内通过加热，控制催化燃烧温度，催化剂加速反应使废气中的有机物、CO、NOx等物质被氧化分解。

　　烟气净化：通过吸附、过滤等方式来净化产生的烟气，使得废气排放达标。

　　热能回收：通过换热器等设备回收催化燃烧产生的热能，用于加热其他废气或加热系统。

　　废气监测：对处理完的废气进行监测，确保处理效果符合国家相关法规要求。

　　以上是催化燃烧废气处理工艺流程的基本步骤，具体应用时需要结合实际情况来设计和优化。